НИОКР

НИОКР Разработка и испытание опытного образца устройства высокоскоростного магнетронного распыления с разогретой мишенью по программе Старт 1 Федеральное государственное бюджетное учреждение «Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере» (Фонд содействия инновациям)

- рассчитано и смоделировано тепловое поле, магнитное поле, рассчитана зона эрозии мишени;

- спроектирован и изготовлен опытный образец устройства высокоскоростного магнетронного распыления с разогретой мишенью;

- проведены испытания и подтверждены технологические и технико-эксплуатационные характеристики устройства с полученными результатами:

- увеличение скорости осаждения в 1,5 раза как металлических, так и оксидных покрытий, увеличение содержания реактивных газов в распыляющей среде не влияет на скорость осаждения;

- более плотная и микродисперсная структуры покрытия;

- получены оптимальные режимы для разных мишеней и по разным реактивным материалам;

- В процессе проделанной работы подана заявка на полезную модель «Узел катода магнетронного распылителя».

Результаты исследования могут быть приняты во внедрение в проектируемые или модернизируемые вакуумные напылительные установки для нанесения керамических покрытий, в целях увеличения производительности оборудования и улучшения структуры и качества покрытия.