Ионнолучевые источники

Источники ионной обработки предназначены для финишной очистки поверхности деталей в вакууме, нанесения покрытий распылением мишеней сформированным пучком, травлением поверхности деталей и нанесенных покрытий, полировки поверхности, ассистирования процессов нанесения покрытий.

Наша компания предлагает источники ионов с холодным катодом и замкнутым дрейфом электронов. В таких источниках ионов реализован замкнутый дрейф электронов в скрещенных электрическом и магнитном полях, ионизация рабочего газа и ускорение ионов в промежутке катод-анод размером порядка Ларморовского радиуса электронов.

На рис. 1 показан схема одного из вариантов исполнения протяженного линейного ионного источника.

Рис. 1 Схема ионного источника 1-корпус водоохлаждаемый, 2- высоковольтный ввод, 3-ввод охлаждения корпуса 4- ввод рабочих газов, 5- разрядный межэлектродный промежуток, 6- стенки вакуумной камеры

Характеристики ионных источников

№	Наименование параметра	Значение
1	Рабочее давление, Пa	0.008 - 0.1
2	Длина ленточного пучка изготовленных ионных источников, мм	от 50 до 3200
3	Средняя энергия ионов при ускоряющем напряжении до 5000 В, эВ;	от 60 до 1000
4	Плотностью ионного тока на единицу длины выпускной щели при ширине щели 2 мм, мА/см2	до10
5	Однородность плотности ионного тока по длине ленточного пучка,%	±3
6	Соотношение ток ионного пучка/разрядный ток источника	не менее 0,5
8	Рабочие газы	инертные газы, кислород, азот, углеводороды

Процесс ионно-плазменной обработки определяется пятью основными параметрами:

энергией;
импульсом;
химическим составом;
масса ионов;
заряд ионов.

Комбинируя параметры процесса возможно получить различный эффект от ионно-плазменной обработки от очистки поверхности до травления и нанесения покрытий.

Имеются два основных варианта исполнения ионно-лучевых источников:

1. Ионные источники с выводом охлаждения и электропитания с тыльной стороны (с одной стороны- вслучае одноконтурного охлаждения, и с двух противоположных сторон- случае двухконтурного охлаждения Рис. 1) подключаются к охлаждению и электропитанию с использованием медных трубок во фторопластовой изоляции с уплотнительными узлами, либо собственной разработки фирмы-изготовителя ионного источника.

2. Ионные источники с коаксиальным вводом характеризуются возможностью простого изменения положение в вакуумной камере перемещением и вращением по оси источника, либо перемещением источника с узлом уплотнения в любое подходящее отверстие в камере. Коаксиальный ввод не требует дополнительной электрической изоляции и электрически соединен с корпусом установки.

Источники ионов могут комплектоваться катодами нейтрализации или иметь другие конструктивные особенности для управления величиной поверхностного заряда в процессах очистки, травления, распыления мишеней:

с полым охлаждаемым корпусом (два контура охлаждения анод и корпус);
модернизированной ионно-оптической системой;
нейтральным магнитным полем источника;
с компенсаторами заряженных ионов;
заслонкой ионного источника, Рис.2
устройство поворота ионного источника с коаксиальным вводом, Рис. 3

Наши ионные источники имеют проверенные временем и тысячами технологических процессов конструкцию и эксплуатируются не только в России, но и в США, Англии, Венгрии, Австрии и в других странах.

Взаимодействие с Клиентами начинается с подбора технологического источника, подбора дополнительных опций, консультации по стандартным режимам проведения процесса ( обработка ионным источником стеклянных, поликоровых подложек и подложек из других материалов) и продолжается сервисным обслуживанием источников.

Преимущества наших ионных источников:

предоставляем модель ионного источника для проектировщиков, выдаем оптимальное расстояние до подложки;
сбалансированное магнитное поле ионное источника, позволяет достигать равномерной обработки на длинномерных подложках и гарантирует отсутствие посторонних примесей в подложку;
гальваническое покрытие внутренних полостей охлаждения ионного источника, позволяет продлить ресурс работы;
быстрые сроки изготовления;
многостадийный контроль качества;
стабильные характеристики с течением времени;

Опыт и профессионализм нашей команды позволяет не только изготавливать стандартный ряд ионных источников, но и провести НИОКР ионных источников различного типа и назначения. Сейчас на стадии проектирования находятся протяженный ВЧ ионный источник, источник с нейтральным потоком частиц, круглый ионный источник

Обратитесь в нашу компанию и получите ионный источник оптимально подходящий для ваших процессов.