Магнетрон с разогретой мишенью

Специалистами нашей компании разработан, изготовлен и испытан магнетрон с разогретой мишенью. Испытания показали хорошие результаты по нанесению керамических покрытий: оксидов и нитридов.

Стадия проекта: Изготовлен опытный образец, получены технико-экономические параметры, зарегистрирован патент на полезную модель № 183113 "Узел катода магнетронного распылителя".